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        掃描電鏡原位附件每一個設計作品都舉世無雙

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        PicoFemto掃描電鏡SEM納米力測量系統

        日期:2022-05-20

        PicoFemto SFP3 SEM納米力測量將納米壓痕儀集成進掃描電鏡中,使用戶可以在掃描電鏡中進行原位納米壓痕研究。該系統由一個三維壓電驅動的樣品臺和一個納米力測量探針組成。樣品安裝方式靈活

        多樣,可在三維納米位移臺的驅動下,達到超過5 mm的準確定位,定位分辨率優于100 nm,以使待測量區域準確對準力探針。力探針同樣由壓電驅動,在軸向達到100 um的伸縮長度,位移分辨率優于

        0.25mm。由力傳感器準確測量所施加的力的載荷,可測拉力和壓力。并有不同的最大量程的力傳感器可選配,達到很好的測量效果。通過搭配電學、

        光學、加熱等模塊,該產品還可以實現包括原位力/熱耦合、力/光耦合、力/電耦合、力/熱/晶體取向耦合等多場耦合研究。

        掃描電鏡納米力測量系統1.png


        PicoFemto SFP3 SEM納米力測量系統基本技術參數表


        技術指

        兼容性

        兼容賽默飛、日本電子、蔡司、日立、ZEM 等型號掃描電子顯微鏡

        最大載荷

        ±10 ~±50 mN可選

        載荷分辨率

        優于10 mN

        加載模式

        拉伸、壓縮、彎曲、壓痕、劃痕等

        納米壓痕模式

        加載-保載-卸載,以及循環加載模式

        軟件

        自動測量載荷-位移曲線,自動保存;

        樣品位移反饋

        閉環

        響應時間

        50ms

        加載位移精度

        0.25 mm

        XYZ反饋

        開環

        XYZ粗調范圍

        大于5 mm

        XYZ細調范圍

        2.5 mm

        XYZ細調分辨率

        0.6 nm

        XYZ位移操作模式

        手柄操作(可改為軟件)。

        電流測量量程

        ±1.5 A

        電流測量精度

        ±100 fA

        電壓測量量程

        ±200V

        電壓測量精度

        ±100 nV

        電學測量模式

        自動電流-電壓(I-V)測量、電流-時間(I-t

        測量,自動保存。

        加熱范圍

        室溫至500

        加熱穩定性

        優于1

        其他

        可選光學模塊


           以上就是澤攸科技對PicoFemto掃描電鏡SEM納米力測量系統的介紹,關于價格請咨詢18817557412(微信同號)

        掃描電鏡納米力臺


        TAG:
        掃描電鏡納米力臺 SEM納米臺 納米壓痕儀

        作者:澤攸科技


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