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        掃描電鏡噴金工藝你知道多少?

        日期:2022-08-11

        澤攸科技小編上期帶大家了解了掃描電鏡為什么要噴金。那么樣品導電膜的制備技術又有哪些呢?樣品噴金又有哪些特點呢?掃描電鏡掃描電鏡噴金工藝都有哪些,下面澤攸科技小編繼續為您介紹。

        1、理想膜層的特點:

        1 良好的導熱和導電性能。

        23-4nm分辨率尺度內不顯示其幾何形貌特點,避免引入不必要的人為圖像。 

        3不管樣品的表面形貌如何,覆蓋在所有部位的膜層需要薄厚均勻。

        4膜層對樣品明顯的化學成分有干擾,也不顯著的改變從樣品中發射的X射線強

        度。這層膜主要增加樣品表面的導電性能和導熱性能,導電金屬膜層的厚度普遍電位在1-10nm。

        2、掃描電鏡噴金工藝 

        在樣品表面形成薄膜有多種方法,對于掃描電鏡和X射線顯微分析,只有熱蒸發和離子濺射鍍膜實用。

        蒸發鍍膜:許多金屬和無機絕緣體在真空中被某種方法加熱,當溫升足夠高,蒸發氣壓達到1.3Pa以上時,就會迅速蒸發為單原子。

        離子濺射鍍膜:高能離子或者中性原子撞擊某個靶材表面,把動量釋放給幾個納米范圍內的原子,碰撞時某些靶材原子得到足夠的能量斷開與周圍原子的結合健,并且被移位。如果撞擊原子的力量足夠,就能把表面原子濺射出靶材。

        一般用鎢絲籃作為電阻加熱裝置,把小于1毫米以下的金屬絲纏繞在在其表面。就像在白熾燈燈絲上,或者電爐的加熱絲上加上需要蒸發的金屬;也有用加熱坩堝,蒸發金屬粉末。

        image.png 

        優點:可提供碳和多種金屬的鍍層,鍍層精細均勻,適合非常粗糙的樣品,高分辨研究??梢試娞迹ㄌ及艋蛱祭K),有利于對樣品中非碳元素的能譜分析。非導電樣品觀察背散射電子圖像,進行EBSD分析,也應該噴碳處理。

        缺點:這種方法容易對樣品產生污染,蒸發溫度過高(例如碳的蒸發溫度為3500K),會損傷熱敏感材料。

        離子束濺射:氬氣態離子槍,發射的離子,被加速到1-30kev,經過準直器或一個簡單的電子透鏡系統,聚焦形成撞擊靶材的離子束。高能離子撞擊靶材原子,原子以0-100ev的能量發射,這些原子沉積到樣品與靶材有視線的范圍內的所有表面??梢詫崿F1.0nm分辨率鍍膜。

         image.png

        二極直流濺射:是簡單的一種。1-3kev

        冷二極濺射:將二極直流濺射改進,用幾個裝置保持樣品在整個鍍膜過程中都是冷態??朔O濺射的熱損傷問題。采用環形靶材代替盤形靶;在中間增加一個永磁鐵,并且在靶的周圍加上環形極靴,偏轉轟擊在樣品表面的電子。如果用一個小的帕爾貼效應的低溫臺,可以實現融點在30攝氏度的樣品鍍膜。

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        澤攸科技-ZEM15臺式掃描電鏡


        以上就是澤攸科技小編介紹的掃描電鏡噴金工藝。秉承操作便捷、快速成像、性能穩定的設計目標,澤攸科技自主研發了ZEM15臺式掃描電鏡,更多關于掃描電鏡的問題請咨詢18817557412(微信同號)。


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        作者:澤攸科技


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