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        臺式掃描電鏡為什么要噴金?

        日期:2022-07-27

        臺式掃描電鏡為什么要噴金?澤攸科技小編往期帶大家了解過掃描電子顯微鏡(SEM)的樣品處理的要求。其一,樣品表面一定要導電。

        在大多數情況下,初級電子束電荷數量都大于背散射電子和二次電子數量之和,因此多余的電子須導入地下,即樣品表面電位須保持在0電位。如果樣品表面不導電,或者樣品接地線斷裂,那么樣品表面靜電荷存在,使得表面負電勢不斷增加,出現充電效應,使圖像畸變,入射電子束減速,此時樣品如同一個電子平面鏡。

        非導電樣品絕緣電阻大,在電子束掃描下,樣品表面逐漸積累負電荷,排斥入射電子,二次電子發射不穩定,并隨機偏轉二次電子,造成圖像晃動、亮度突變、出現無規則的明暗條紋,也就是所謂的“荷電效應”。


        樣品未噴金ZEM15臺式掃描電鏡成像.png                          樣品噴金后ZEM15臺式掃描電鏡成像2.png

                 樣品未噴金ZEM15臺式掃描電鏡成像                                       樣品噴金后ZEM15臺式掃描電鏡成像

        草葉表面噴金后掃描電鏡成像4.png                           昆蟲復眼噴金后掃描電鏡成像 3.png

              草葉表面噴金后掃描電鏡成像                                                                 昆蟲復眼噴金后掃描電鏡成像


        通常在樣品表面鍍一層導電膜可以提高樣品的導電性,表面的負電荷通過導電膜釋放入地,消除荷電。電荷釋放的前提是膜層要與金屬樣品臺相連接,形成導電通道,此外連續的導電膜也可以提高樣品的導熱性,減小熱損傷。目前常用的鍍膜技術為真空蒸發和離子濺射。

        常用的鍍膜材料有C、Al、Cr、Au、Pt、Au-Pd合金。金膜二次電子產率高、覆蓋性好、鍍膜容易,是常用的材料,但顆粒較大,適用于中低范圍的分辨率、兩萬倍以下的圖像。 Pt和Au-Pd合金膜的顆粒要細得多,適用于高分辨率圖像。使用場發射電鏡對膜層要求更高,至少要在20萬倍下膜層不能顯現結構,高真空鍍Cr可以滿足要求。C膜均勻性好,導電導熱效率高,又是比較經濟的材料,只是二次電子產率低,不適合高倍圖像。

        臺式掃描電鏡

        ZEM15臺式掃描電鏡

        以上就是澤攸科技小編介紹的掃描電鏡為什么要噴金。秉承操作便捷、快速成像、性能穩定的設計目標,澤攸科技自主研發了ZEM15臺式掃描電鏡,更多關于掃描電鏡的問題請咨詢18817557412(微信同號)

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        作者:admin


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