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        行業動態每一個設計作品都舉世無雙

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        提高掃描電鏡分辨力的路徑和方式

        日期:2022-07-25

        提高掃描電鏡分辨力的路徑和方式,下面澤攸科技小編為您介紹提高掃描電鏡的分辨力,主要有兩條渠道:首先是解決照明源,只有在入射束流密度足夠高的情況下,才能進一步縮小入射束斑,入射束斑足夠小,分辨力才能高;其次是盡量提高成像信息的收集效率和探測器的轉換靈敏度,接收到的成像信息量越多,圖像的信噪比和清晰度也就可以進一步得到改善,又可以返回來進一步減小束斑,從而圖像的分辨力也就越高。目前,為提高電鏡圖像的分辨力,常采用的途徑和方式有下列幾種。

        (1)利用高亮度的場發射電子槍來作電子源的陰極以提高束流密度,從而提高亮度。

        (2)縮短工作距離,既可以相對增大信號量、提高信噪比,又可以減小像差,也就是把試樣盡量移近物鏡極靴,這類似于光學顯微鏡中的短焦距“浸沒透鏡”方式。物鏡的極靴區是獲得高分辨圖像的有效部位但由于該處的空間很小,一般只有毫米級的試樣才能進得去,而且試樣的移動范圍很小,操作起來要格外小心,否則容易“四處碰壁”。這種模式由于焦距短,束斑受外界的影響小,像差也小,且能進入到該區域的試樣座也要小,小樣品臺的穩定性相對會比較好,所以在該區域拍攝的照片,其圖像分辨力能得到明顯提高。

        (3)采用透鏡內(In-lens)探測器或安裝在物鏡上方的探測器(TLD-SED),都能明顯改善低加速電壓和短工作距離時的圖像信噪比和分辨力。在WD較小時,不僅可以減小物鏡球差和消除傳統E-T探測器前端柵網上加速電位帶來的影響,而且它接收到的幾乎都是在入射束照射下直接產生的二次電子,排除了背散射電子等其他信號所產生的次生或間接的二次電子,因而有助于提高圖像分辨力。

        (4)使用強磁透鏡,這是在透射電鏡中裝上附加的掃描附件,使試樣發出的二次電子在強磁場中被檢測、收集成像,即利用透射電鏡的掃描附件做出掃描電鏡才能完成的二次電子像,而且這種二次電子像的分辨力往往優干同類電子槍的專業掃描電鏡。

        (5)在物鏡的極靴附近加設一個特殊的附加靜電裝置(Electrostatics Serves),用來同時匯集一次電子并提取二次電子,再加上物鏡頂部環形探測器接收的面積大,靈敏度高,在短工作距離下能明顯改善圖像的信噪比和提高分辨力。

        臺式掃描電鏡

        澤攸科技-ZEM15臺式掃描電鏡

        以上就是澤攸科技 小編介紹的提高掃描電鏡分辨力的路徑和方式。秉承操作便捷、快速成像、性能穩定的設計目標,澤攸科技自主研發了ZEM15臺式掃描電鏡,更多關于掃描電鏡的問題請咨詢18817557412(微信同號)。

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        作者:澤攸科技


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