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        ZEM15臺式掃描電鏡的四大功能介紹

        日期:2022-06-06

        ZEM15臺式掃描電鏡的電子光學系統、探測器、電路控制系統、信號采集系統和操作軟件均為澤攸科技自主研制。特別研制的電子光學系統設計,使拍攝圖片具有更高的信噪比和對比度。配合很高的信號采集帶寬,可以在視頻幀率下高質量的流暢顯示樣品。只需鼠標就可完成所有操作,無需光闌對中等復雜步驟。主機集成高壓及控制系統,是目前市面上體積較小的臺式掃描電鏡,便于移動,安裝無需特殊環境。

        臺式掃描電鏡1.jpg

        ZEM15臺式掃描電鏡

          ZEM15臺式掃描電鏡的四大功能:

          一、利用背散射電子衍射信號對樣品物質進行晶體結構(原子在晶體中的排列方式),晶體取向分布分析,基于晶體結構的相鑒定。


          二、在半導體器件(IC)研究中的特殊應用:

          1)利用電子束感生電流EBIC進行成像,可以用來進行集成電路中pn結的定位和損傷研究

          2)利用樣品電流成像,結果可顯示電路中金屬層的開、短路,因此電阻襯度像經常用來檢查金屬布線層、多晶連線層、金屬到硅的測試圖形和薄膜電阻的導電形式。

          3)利用二次電子電位反差像,反映了樣品表面的電位,從它上面可以看出樣品表面各處電位的高低及分布情況,特別是對于器件的隱開路或隱短路部位的確定尤為方便。


          三、顯示化學成分的空間變化,基于化學成分的相鑒定——-化學成分像分布,微區化學成分分析

          1)用x射線能譜儀或波譜采集特征X射線信號,生成與樣品形貌相對應的,元素面分布圖或者進行定點化學成分定性定量分析,相鑒定。

          2)利用背散射電子基于平均原子序數(一般和相對密度相關)反差,生成化學成分相的分布圖像;

          3)利用陰極熒光,基于某些痕量元素受電子束激發的光強反差,生成的痕量元素分布圖像。

          4)利用樣品電流,基于平均原子序數反差,生成的化學成分相的分布圖像,該圖像與背散射電子圖像亮暗相反。

          5)利用俄歇電子,對樣品物質表層進行化學元素分布的定性定理分析。


          四、掃描電子顯微鏡追求固體物質高分辨的形貌,形態圖像-形貌分析(表面幾何形態,形狀,尺寸)。

        以上就是澤攸科技小編為大家介紹的ZEM15臺式掃描電鏡的四大功能介紹,如果您還想要了解更多ZEM15臺式掃描電鏡功能及價格,歡迎您咨詢18817557412(微信同號)

        ZEM15臺式掃描電鏡價格


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        作者:澤攸科技


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