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        行業動態每一個設計作品都舉世無雙

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        掃描電鏡的光學原理

        日期:2021-08-09

        從原理上講,掃描電鏡就是用非常精細的聚焦高能電子束掃描樣品,激發各種物理信息。通過接收、放大和顯示信息,可以觀察到測試樣品的表面形態。接下來澤攸科技小編將主要介紹一下掃描電鏡的光學原理。

         

        當一束超細高能入射電子轟擊和掃描樣品表面時,激發區會產生二次電子、俄歇電子、特征X射線和連續光譜X射線、背散射電子、透射電子以及可見、紫外和紅外區域的電磁輻射。同時可以產生電子-空穴對、晶格振動(聲子)和電子振蕩(等離子體)。掃描電子顯微鏡通常至少有一個檢測器(通常是SEI),其中許多配備了額外的檢測器,如EDS、BSE、WDS、EBSD、CL等。但特定儀器的特殊功能強烈依賴于合適的探測器,探測器的安裝角度,即樣品分析室的專業設計,對分析效果影響很大。為了獲得較高的掃描電子顯微鏡分析質量,我們應該對各種功能機制有深入的了解。

                    

        臺式掃描電鏡

        ZEM臺式掃描電鏡

         

        電子槍發射的電子束被幾個電磁透鏡還原后,電子束到達樣品并激發樣品中的二次電子。探測器接收二次電子,通過信號處理調制顯示器上的像素發光。由于電子束點的直徑為納米,顯示器的像素超過100微米,因此這個像素在100微米以上發出的光代表樣品上被電子束激發的區域發出的光。實現樣品上該物點的放大。如果在樣品的某個區域對電子束進行光柵掃描,并在時間和空間上對顯示器像素的亮度進行相應的調制,就可以實現該樣品區域微觀形貌的放大成像。

         

        希望本文能為對桌面掃描電鏡的光學原理的研究提供參考,關于掃描電鏡價格請咨詢18817557412(微信同號)
         

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        作者:admin


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