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        掃描電子顯微鏡(SEM)之樣品處理的要求

        日期:2021-03-24

        掃描電子顯微鏡(SEM)之樣品處理的要求,多熟悉掃描電鏡對樣品處理要求對測試有很大的幫助,下面澤攸科技小編帶大家來看看都有哪些要求。
         
        掃描電子顯微鏡的優勢為可以直接觀察非常粗糙的樣品表面,參差起伏的材料原始斷口。但其劣勢為樣品須在真空環境下觀察,因此對樣品有一些特殊要求,籠統的講:干燥,無油,導電。
         
        1、形貌形態,須耐高真空。
         

        例如有些含水量很大的細胞,在真空中很快被抽干水分,細胞的形態也發生了改變,無法對各類型細胞進行區分;
         
        2、樣品表面不能含有有機油脂類污染物。
         
        油污在電子束作用下容易分解成碳氫化物,對真空環境造成很大污染。樣品表面細節被碳氫化合物遮蓋;碳氫化合物降低了成像信號產量;碳氫化合物吸附在電子束光路引起很大象散;碳氫化合物被吸附在探測器晶體表面,降低探測器效率。對低加速電壓的電子束干擾嚴重。
         
        3、樣品須為干燥。
         
        水蒸氣會加速電子槍陰極材料的揮發,從而大降低燈絲壽命;水蒸氣會散射電子束,增加電子束能量分散,從而加大色差,降低分辨能力。
         
        4、樣品表面須導電。
         
        在大多數情況下,初級電子束電荷數量都大于背散射電子和二次電子數量之和,因此多余的電子須導入地下,即樣品表面電位須保持在0電位。如果樣品表面不導電,或者樣品接地線斷裂,那么樣品表面靜電荷存在,使得表面負電勢不斷增加,出現充電效應,使圖像畸變,入射電子束減速,此時樣品如同一個電子平面鏡。
         
        5、在某些情況下,樣品制備變成重要的考慮因素。
         
        若要檢測觀察弱反差機理,就須消除強反差機理(例如,形貌反差),否則很難檢測到弱的反差。當希望EBSD背散射電子衍射反差,I和II型磁反差或其他弱反差機理時,磁性材料的磁疇特性須消除樣品的形貌。采用化學拋光,電解拋光等,產生一個幾乎消除形貌的鏡面。
         
        特殊情況: 磁性材料,須退磁。

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        以上就是澤攸科技小編為大家整理的掃描電子顯微鏡(SEM)對樣品處理的要求,如果想要了解臺式掃描電子顯微鏡相關信息,請直接聯系18817557412(微信同號)

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        作者:小攸


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